系统特点：
1、完全封闭的无尘室、真空室连接手套箱工作、创造无水无氧工作环境；
2、方型优质304不锈钢真空腔室，配铝制门，及多视角观察窗，并配有窗防污挡板；
3、人工触摸屏或特殊方法控制，计算机化的工艺自动化；
工艺模块：
1、磁控溅射，磁控靶RF、DC、脉冲DC兼容，可选配溅射铁磁性材料的磁控靶；
2、尺寸为4英寸的样品可均镀膜，单片不均匀度为≤±4%（以镀膜金属薄膜进行验收，镀金属膜厚度约200nm）
配置选项：
1、基片可加热、可加负偏压或可加射频清洗；
2、调节工作气压装置（即节流阀）；
系统极限真空：≤6.6×10-5Pa（5×10-7Torr)
系统漏率：停泵关机12小时，系统真空≤10Pa
系统抽速：系统从大气开始抽气：25分钟可达到6.6x10-4 Pa
