Dektak-XT 表面轮廓仪

发布者：李世凤发布时间：2020-12-06浏览次数：1488

扫描长度：50um-55mm（自动台200mm））
垂直测量范围： 1mm
垂直分辨率：最大1Å（6.5um量程范围)    
探针压力：1－15mg

最小可达0.03mg（需配超微力传感器）

探针曲率半径：0.2-25um   标配2um
超细探针：50nm（定制探针）
样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸


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