SEM（Field Emission Scanning Electron Microscope)

发布者：崔玉双发布时间：2020-12-10浏览次数：1764

 

分辨率：0.8nm   @30KV ;0.8nm@15KV ；1.6nm   @ 1 KV  

放大倍率：12-1000000x   (SE)，100-1000000X   (BSE)

加速电压：0.02V-30KV

探针电流：4   pA   - 20 nA

样品室：X/Y=130mm ; Z = 50mm; T = -3 to 70°;   R = 360° 连续旋转

配备探头：TV;  INLENS;    SE2;  ASB;  ESB











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